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Micro-Hybrid 單通道二氧化碳熱電堆探測(cè)器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電堆單通道探測(cè)器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。由于濾光片的參數(shù)，該檢測(cè)器非常適合測(cè)量二氧化硫（SO2）的濃度。檢測(cè)器芯片的輻射敏感熱電偶檢測(cè)光譜范圍，該光譜范圍對(duì)應(yīng)于各個(gè)上游濾光片的透射范圍。

Micro-Hybrid 單通道溫度熱電堆探測(cè)器 基于MEMS技術(shù)的高靈敏度單通道熱電堆探測(cè)器，用于非接觸式溫度測(cè)量。

Micro-Hybrid 單通道高溫紅外熱電堆探測(cè)器 高靈敏度的單通道熱電堆檢測(cè)器，用于高溫范圍內(nèi)的NDIR氣體分析。 它可以在高達(dá)190°C的環(huán)境溫度下進(jìn)行測(cè)量。由于采用了焊接過(guò)濾器，檢測(cè)器對(duì)水分和其他環(huán)境影響不敏感。

Micro-Hybrid 四通道多氣熱電堆探測(cè)器基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電堆四極桿探測(cè)器，帶有可單獨(dú)組合的濾光片，用于氣體分析。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋 通過(guò)在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實(shí)現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結(jié)構(gòu)的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實(shí)黑體輻射特性的紅外源。強(qiáng)大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達(dá)850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)較高的輻射強(qiáng)度。除了高紅外輸出強(qiáng)度外，我們成功開(kāi)發(fā)的重點(diǎn)還在于長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的IR輻射源。MEMS紅外發(fā)射器的膜基于C-MOSI®技術(shù)，膜溫度高達(dá)800°C。它可以長(zhǎng)期穩(wěn)定地輸出輻射。發(fā)射器所需的低輸入功率還支持獨(dú)立和手持式應(yīng)用。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬CMOSI層。

Micro-Hybrid 紅外輻射源帶蓋濾光片A1 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能薄膜由納米非晶碳組成，其薄膜溫度高達(dá)850°C。它可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到5.5 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。帶蓋的包裝形式適用于測(cè)量Max.2 cm的截面。

Micro-Hybrid 紅外輻射源TO39SiARC濾光片 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能膜由納米非晶碳組成，其膜溫度高達(dá)850°C。它可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到12 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。 包裝形式的反射器適用于測(cè)量2 cm以上的截面。