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FMSR-AB高精度氣浮轉臺：我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉臺采用經(jīng)過特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

FMSR-DHA系列高性能直驅旋轉臺：?FMSR-DHA系列是采用絕對值編碼器有鐵芯電機。與原來的FMSR-DH 系列相比,FMSR-DHA系列不懼怕灰塵和油污等惡劣的應用環(huán)境。且使用的是絕對值編碼器,而不是增量值編碼器。

FMSR-DH系列高性能直驅旋轉臺：我們在FMSR-D系列的基礎上推出了新的FMSR-DH系列直驅旋轉臺,直驅旋轉電機FMSR-DH系列與FMSR-D系列類似,同樣是無鐵芯型永磁電機。不同的是其通過獨到的機械設計實現(xiàn)電機的扁平特性以及大中孔特性。適用于對高度有特殊要求的應用。

FMSR-DA系列高性能直驅旋轉臺：FMSR-DA系列是采用 Biss-協(xié)議的絕對值編碼器有鐵芯電機。與原來的FMSR-D 系列相比，F(xiàn)MSR-DA系列不懼怕灰塵和油污等惡劣的應用環(huán)境。且使用的是絕對值編碼器,而不是增量值編碼器。重復精度可以達到 士1.5 arc sec以內。最重要的一點是,不用做誤差補償,絕對精度可以達到士15 arc sec以內。

FMSR-D系列高性能直驅旋轉臺：隨著直驅技術不斷進步,直驅電機憑借高轉速,高精度,高承載等特點逐漸取代了科研和工業(yè)上大量應用的“電機+蝸輪蝸桿”結構的旋轉臺。我們推出的FMSR-D系列直驅旋轉臺,涵蓋了有鐵芯電機、無鐵芯電機、絕對式光柵尺、增量式光柵尺等技術,以其高一個數(shù)量級的精度、速度以及更美觀的外形設計取代了傳統(tǒng)蝸輪蝸桿結構旋轉臺。

FMS80V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS80基礎上，我們設計了FMS80V系列真空專?位移臺。FMS80V廣泛適用于真空環(huán)境的應?中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。

FMS120V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS120系列基礎上，我們設計了FMS120V系列真空專用位移臺。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。

FMS80VR真空步進電機高精度整體臺面平移臺：在FMS80R系列基礎上，我們設計了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運?。